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①DCS集散式控制系統(tǒng)、PLC可編程控制器、數(shù)控系統(tǒng)、ESD系統(tǒng)，振動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)，汽輪機(jī)控制系統(tǒng)
(CPU處理器、模擬量輸入輸出模塊、卡件、控制器、伺服控制器、電源模塊，機(jī)器人備件等)

  　PLC是控制系統(tǒng)的核心，程序結(jié)構(gòu)直接影響控制系統(tǒng)的性能，其難點(diǎn)在于配方程序的執(zhí)行。上位機(jī)程序采用模塊化編程思路，可對(duì)設(shè)備硬件的更改做出迅速反應(yīng)，容易維護(hù)、擴(kuò)展性好、可讀性強(qiáng)。MOCVD工藝過程中需要控制的變量眾多，并且眾多變量之間相互關(guān)聯(lián)，采用單獨(dú)手動(dòng)操作是滿足不了實(shí)時(shí)性和可重復(fù)性要求的，只能采用配方程序的方式自動(dòng)控制各個(gè)變量。因?yàn)樯L各種材料的工藝要求不同，配方程序要求能夠?qū)崿F(xiàn)工藝步的循環(huán)嵌套，工藝條件的等待，變量賦值線性變化，跳過工藝步和在線實(shí)時(shí)修改等功能。由于本團(tuán)隊(duì)開發(fā)的控制系統(tǒng)可一次性傳送整個(gè)配方程序給PLC，而不是一次傳送一步工藝，所以降低了上位機(jī)與PLC通訊硬件方面的要求，提高了整個(gè)控制系統(tǒng)的可靠性。 
　　 
　　 
　　該軟件可以對(duì)所有的數(shù)字量、模擬量進(jìn)行手動(dòng)控制，可以對(duì)所有參數(shù)的歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并自動(dòng)計(jì)算出工藝工程師所關(guān)心的參數(shù)，如生長每一層結(jié)構(gòu)所消耗的實(shí)際反應(yīng)物的物質(zhì)的量。其配方程序的編寫和編譯具有以下優(yōu)點(diǎn)：一次性傳送整個(gè)配方程序，程序后臺(tái)運(yùn)行，上位機(jī)可只當(dāng)做監(jiān)控系統(tǒng)；可實(shí)現(xiàn)工藝條件等待、工藝步循環(huán)和嵌套；變量賦值線性變化；可實(shí)現(xiàn)跳過工藝步、配方程序在線實(shí)時(shí)修改。

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