萊峰 氣體質量流量控制器萊峰 氣體質量流量控制器由質量流量傳感器、層流原件、質量流量控制器調節閥和放大電路組成,它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成,其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的信號進行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。 采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。 層流原件采用片狀分流原理,具有更好可靠性,穩定性及線性,便于更改量程,安裝簡易。泄 漏 率 <2×10-8atm.ml/s(He)防護等級 IP40 6 67 19 7 118 79 129 主板采用多層布線,具有更好的抗干擾能力,良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。 測量和控制的量程范圍大,大滿量程可達30ln/min 自動校準零點,預熱時間短、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。 可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊,操作簡單


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