集成電路封裝測試廠
集成電路無塵車間施工
工藝布局宜根據產品工序進行,主要生產工序可分為中測、減薄、劃片粘片、焊線、芯片包封、電鍍和成品測試。
常用的工藝流程為:
晶圓入廠→中測→減薄→貼膜→粘片→焊線→包封→切筋成型→電鍍→打印→成品測試→包裝→出貨。
工藝設備宜根據生產工序進行集中布置。
生產環境宜符合下列要求:
序號 | 工序 | 潔凈度等級 | 溫度 | 相對濕度 | 照度 |
1 | 晶圓檢查、減薄、劃片、粘片、焊線 | 6~7 | 23℃±2℃ | 50±10% | 300~500lx |
2 | 芯片包封 | 7~8 | 23℃±3℃ | 50±10% | 300~500lx |
3 | 電鍍、測試 | 空調 |
|
| 300~500lx |
生產環境的潔凈度等級應符合下列要求
潔凈區的空氣潔凈度等級應根據集成電路封裝測試產品、工藝及所使用的生產設備的要求確定;
潔凈度等級的劃分應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》 GB50073的規定;
潔凈區設計時,空氣潔凈度等級所處空態、靜態、動態應業主協商確定。
氣流流型的設計在空氣潔凈度等級要求6級~9級時,宜采用非單向流。
潔凈區空調系統宜采用以下方式:
1. 對于面積較大的潔凈廠房設置集中新風處理系統,新風處理系統送風機應采取變頻措施。
2. 循環空調系統應按照潔凈度等級、溫度、相對濕度、熱負荷等因素進行分區。
3. 循環空調系統宜采用干式冷卻方式,宜采用循環空調機組和末端高效送風口相結合的方式。
4. 采用新風未集中處理的空調機組時宜設置二次回風。
5. 加濕器宜采用等焓加濕方式。
集成電路封裝測試工廠的工藝排風系統設計應按照工藝設備排風性質的不同分別設置獨立的排風系統。
集成電路封裝測試工廠的排煙系統可以兼作事故排風系統。
集成電路封裝工廠測試的工藝排風系統宜設置變頻調節系統。
工藝排風管道穿越有耐火時限要求的建筑構件處應設置防火閥。腐蝕性排風管道穿越防火墻處可不設置防火閥,但緊鄰建筑構件的風管管道應采用與該處建筑構件耐火時限相同的防火構造進行封閉或保護,每側長度不應小于2m或風管直徑的兩倍,并以其中較大者為準。
集成電路無塵車間施工
●食品工業潔凈用房凈化空調系統;
●醫院潔凈手術部、ICU、、供應室凈化空調系統;
●GMP醫藥工業潔凈廠房凈化空調系統;
●微電子、光電無塵車間凈化空調系統;
●科研、消毒用品、化妝品車間凈化空調系統;
●生物安全、動物實驗室及其他行業凈化空調系統;
江西全立森潔凈技術有限公司
何工:130 2728 7520
集成電路無塵車間施工
智能制造網APP
智能制造網手機站
智能制造網小程序
智能制造網官微
智能制造網服務號





























